硅单晶生长时为什么会沿着籽晶方向(转自晶格半导体)
文章来源:晶格半导体
原文作者:晶格半导体
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晶体取向的遗传性:在晶体生长过程中,晶体的取向是由籽晶决定的。籽晶的晶格结构和取向会在晶体生长过程中被复制和延续,这是晶体生长的基本特性之一。
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表面能最小化:晶体生长时,系统会倾向于降低其表面能。沿着特定的晶向生长可以最小化晶体的表面能,因为不同晶向的表面能不同,晶体会自然选择表面能较低的晶向生长。
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晶体生长动力学:晶体生长是一个动力学过程,涉及到原子或分子在晶体表面的吸附、扩散和结合。沿着特定晶向生长可以降低原子在表面的迁移能垒,从而加速晶体的生长速率。
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温度梯度和溶剂饱和度:在CZ法等晶体生长技术中,温度梯度和溶剂(在硅晶体生长中是硅熔体)的饱和度对晶体生长方向有重要影响。沿着籽晶的晶向生长可以更好地适应温度梯度和饱和度的变化,从而促进晶体的生长。
END
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2024年9月19日 11:29
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